遊離砥粒ワイヤソー用クーラント

この製品について

各種材料を遊離砥粒式ワイヤーソーでスライスする際に使用するクーラントです。砥粒と混合して使用します。

特徴

【CLシリーズ】

• 水溶性タイプであり、油性と比較してウェーハの洗浄が容易
• 切屑混入後もスラリー粘度が低く保たれるため継続使用時のウェーハ品質維持が可能
• 砥粒の再分散が容易

対応素材