この製品について
SiCやアルミナ等の研磨材を使って研磨加工する際に使用する製品です。水で希釈し、研磨材と混合して使用します。
特徴
【シュレック＃101】
- 水晶、石英ガラス、セラミック等各種材料に対して加工性が良好
- 防錆力が優れている
- 砥粒の分散性が良好であり、傷の発生が少ない
【シュレック#101HH-7】
- 中性タイプの水溶性研磨液
- 窒化アルミの加工にて反応臭気、凝固を抑制する
- 砥粒の分散性が良好であり、傷の発生が少ない
【シュレックECO＃546】
- シリコンウェーハの研磨加工に使用
- シリコン加工後の定盤転写を防ぐ
【アクアジョラスDP＃085S】
- ダイヤ砥粒による研磨に使用
- ダイヤ砥粒の分散性が良好
対応素材
| シュレック＃101 | シュレック＃ 101HH-7 | シュレックECO ＃546 | アクアジョラス DP＃085S | |
|---|---|---|---|---|
| シリコン | ◯ | |||
| SiC | ||||
| 化合物半導体 | ◯ | |||
| セラミックス | ◯ | ◯ | ◯ | |
| サファイア | ◯ | ◯ | ◯ | |
| 水晶 | ◯ | |||
| ガラス | ◯ | ◯ | ||
| 石英 | ◯ | ◯ |