用途別分類: 切る



遊離砥粒ワイヤソー用クーラント

2025年12月7日 日曜日

各種材料を遊離砥粒式ワイヤーソーでスライスする際に使用するクーラントです。砥粒と混合して使用します。

【CLシリーズ】

  • 水溶性タイプであり、油性と比較してウェーハの洗浄が容易
  • 切屑混入後もスラリー粘度が低く保たれるため継続使用時のウェーハ品質維持が可能
  • 砥粒の再分散が容易
CL877CL895
シリコン
SiC
化合物半導体
セラミックス
サファイア
水晶
ガラス
石英


固定ワイヤソー用クーラント

2025年12月7日 日曜日

各種材料をダイヤモンドワイヤーソーでスライスする際に使用するクーラントです。水で希釈して使用します。

【ネオクーラントシリーズ】

  • 潤滑性が良好であり、加工抵抗を抑えて精度良くスライスすることが可能
  • ウェーハのうねり、ソリが改善する
  • ダイヤモンドワイヤーの寿命が向上する
  • 切屑の分離性、分離装置での捕集性が良好であり、長期間の循環使用が可能
ネオクーラントDM#916H
シリコン
SiC
化合物半導体
セラミックス
サファイア
水晶
ガラス
石英