この製品について

SiCやアルミナ等の研磨材を使って研磨加工する際に使用する製品です。水で希釈し、研磨材と混合して使用します。

特徴

【シュレック＃101】

• 水晶、石英ガラス、セラミック等各種材料に対して加工性が良好
• 防錆力が優れている
• 砥粒の分散性が良好であり、傷の発生が少ない

【シュレック#101HH-7】

• 中性タイプの水溶性研磨液
• 窒化アルミの加工にて反応臭気、凝固を抑制する
• 砥粒の分散性が良好であり、傷の発生が少ない

【シュレックECO＃546】

• シリコンウェーハの研磨加工に使用
• シリコン加工後の定盤転写を防ぐ

【アクアジョラスDP＃085S】

• ダイヤ砥粒による研磨に使用
• ダイヤ砥粒の分散性が良好

対応素材

	シュレック＃101	シュレック＃ 101HH-7	シュレックECO ＃546	アクアジョラス DP＃085S
シリコン			◯
SiC
化合物半導体	◯
セラミックス	◯	◯		◯
サファイア	◯	◯		◯
水晶	◯
ガラス	◯	◯
石英	◯	◯

この製品について

ポリッシング(精研磨)で使用する製品です。水で希釈し、研磨材と混合して使用します。

特徴

【シュレック107A-50】

• 酸性タイプの分散剤
• 酸化セリウムの分散性が良好であり傷の発生が少ない

【シュレックECO＃203】

• 中性タイプの分散剤
• 酸化セリウムの分散性が良好であり傷の発生が少ない
• スエードパットへの酸化セリウム付着を防ぎ、研磨レートが持続する

【シュレックECO＃232BU】

• アルカリ性タイプの分散剤
• 酸化セリウムの分散性が良好であり傷の発生が少ない

【シュレック#105】

• アルカリ性タイプの分散剤
• 防錆力が高い
• 酸化セリウムの再分散が容易

※使用する酸化セリウムによって効果に差があります。弊社ではお客様の使用する酸化セリウムごとに適した分散剤の選定をサポート致します

対応素材

	シュレック＃ 107A-50	シュレックECO ＃203	シュレックECO ＃232BU	シュレック＃105
シリコン
SiC
化合物半導体
セラミックス		◯
サファイア		◯
水晶				◯
ガラス	◯	◯	◯	◯
石英	◯	◯	◯	◯