この製品について

各種材料を遊離砥粒式ワイヤーソーでスライスする際に使用するクーラントです。砥粒と混合して使用します。

特徴

【CLシリーズ】

• 水溶性タイプであり、油性と比較してウェーハの洗浄が容易
• 切屑混入後もスラリー粘度が低く保たれるため継続使用時のウェーハ品質維持が可能
• 砥粒の再分散が容易

対応素材

	CL877	CL895
シリコン	◯
SiC		◯
化合物半導体		◯
セラミックス		◯
サファイア		◯
水晶		◯
ガラス		◯
石英		◯

この製品について

シリカによる研磨工程で添加して使用します。

特徴

【プロテクトライン＃900A】

• コロイダルシリカスラリーの乾燥を防ぐ
• 研磨後の装置、ワーク洗浄が容易

対応素材

	プロテクトライン＃900A
シリコン	◯
SiC	◯
化合物半導体	◯
セラミックス	◯
サファイア	◯
水晶
ガラス	◯
石英	◯

この製品について

各種工程中で発生する汚れを除去するための洗浄剤です。汚れの種類に応じて様々な洗浄剤を用意しています。

特徴

【シュレックECO＃311】

• アルカリ洗浄剤　
• ロジン系ワックス、フラックスの洗浄が可能

【アクアクリーンGR-PF】

• アルカリ洗浄剤
• 研磨工程後の汚れ(砥粒、研磨剤)の洗浄が可能

【シュレックECO＃700】

• 中性洗浄剤(原液使用)
• 加工工程で使用するロジン系ワックスの洗浄が可能

【シュレックECO＃080】

• 中性洗浄剤
• 切削油等の油脂に対する洗浄性が高い

【シュレック＃201】

• 酸性洗浄剤
• 研磨工程後の砥粒付着物に対して、高い洗浄力がある

【シュレックECO＃352】

• アルカリ性洗浄剤
• 研磨工程後のシリカ付着物に対して洗浄が可能
• すすぎ性が良い

【トモリムーブK#204S】

• アルカリ性洗浄剤
• ゴム成形用金型の洗浄に使用
• 使用時の臭気発生が少ない

対応素材

	シュレック ECO＃311	アクアクリーンGR-PF	シュレック ECO＃700	シュレック ECO＃080	シュレック＃201	シュレックECO＃352
シリコン						◯
SiC
化合物半導体	◯		◯	◯	◯	◯
セラミックス	◯		◯		◯	◯
サファイア	◯		◯		◯	◯
水晶		◯	◯	◯	◯
ガラス	◯	◯	◯	◯	◯
石英	◯	◯	◯	◯	◯

この製品について

SiCやアルミナ等の研磨材を使って研磨加工する際に使用する製品です。水で希釈し、研磨材と混合して使用します。

特徴

【シュレック＃101】

• 水晶、石英ガラス、セラミック等各種材料に対して加工性が良好
• 防錆力が優れている
• 砥粒の分散性が良好であり、傷の発生が少ない

【シュレック#101HH-7】

• 中性タイプの水溶性研磨液
• 窒化アルミの加工にて反応臭気、凝固を抑制する
• 砥粒の分散性が良好であり、傷の発生が少ない

【シュレックECO＃546】

• シリコンウェーハの研磨加工に使用
• シリコン加工後の定盤転写を防ぐ

【アクアジョラスDP＃085S】

• ダイヤ砥粒による研磨に使用
• ダイヤ砥粒の分散性が良好

対応素材

	シュレック＃101	シュレック＃ 101HH-7	シュレックECO ＃546	アクアジョラス DP＃085S
シリコン			◯
SiC
化合物半導体	◯
セラミックス	◯	◯		◯
サファイア	◯	◯		◯
水晶	◯
ガラス	◯	◯
石英	◯	◯

この製品について

各種材料を研削加工する際に使用する研削剤です。水で希釈して使用します。

特徴

【トモクールDTシリーズ】

• ダイヤモンドパットの研削加工に使用
• パットからのスラッジの排出が良好であり、高い加工レートを持続することが可能

【トモクールECO＃51S】

• 石英、セラミック等の各種研削加工に使用可能
• 窒化アルミの反応による臭気、切屑の凝固を抑制する
• 腐敗の抑制効果あり

【ネオクーラントMN＃818】

• 光学レンズの研削加工に使用
• CG工程にて加工性が良好であり、その効果が長期間持続する

【トモクールPE＃552】

• 光学レンズの研削加工に使用
• スムージング工程にて加工精度が良好

【センターシェイブECO＃286A】

• 光学レンズの芯取工程に使用
• 水溶性(原液使用)タイプのため洗浄性が良好
• 砥石の寿命が向上する
• 各種光学レンズに対してヤケが発生しない

対応素材

	トモクールDT	トモクールECO ＃51S	ネオクーラント MN#818	トモクールPE ＃552	センターシェイブECO＃286A
シリコン
SiC
化合物半導体		◯
セラミックス	◯	◯
サファイア	◯	◯
水晶	◯	◯
ガラス	◯	◯	◯	◯	◯
石英	◯	◯	◯	◯	◯

この製品について

光学部品、電子部品の蒸着膜を剥離する際に使用します。

特徴

【トモリムーブ＃560AN】

• 酸性剥離剤
• 銀、クロム膜の剥離に使用可能

【トモリムーブK＃203】

• アルカリ性剥離剤
• 光学部品用蒸着膜の剥離に使用可能
• 光学部品のヤケ取りに使用可能

対応素材

	トモリムーブ#560A	トモリムーブK#203
シリコン
SiC
化合物半導体
セラミックス
サファイア
水晶	◯
ガラス	◯	◯
石英	◯	◯

この製品について

ポリッシング(精研磨)で使用する製品です。水で希釈し、研磨材と混合して使用します。

特徴

【シュレック107A-50】

• 酸性タイプの分散剤
• 酸化セリウムの分散性が良好であり傷の発生が少ない

【シュレックECO＃203】

• 中性タイプの分散剤
• 酸化セリウムの分散性が良好であり傷の発生が少ない
• スエードパットへの酸化セリウム付着を防ぎ、研磨レートが持続する

【シュレックECO＃232BU】

• アルカリ性タイプの分散剤
• 酸化セリウムの分散性が良好であり傷の発生が少ない

【シュレック#105】

• アルカリ性タイプの分散剤
• 防錆力が高い
• 酸化セリウムの再分散が容易

※使用する酸化セリウムによって効果に差があります。弊社ではお客様の使用する酸化セリウムごとに適した分散剤の選定をサポート致します

対応素材

	シュレック＃ 107A-50	シュレックECO ＃203	シュレックECO ＃232BU	シュレック＃105
シリコン
SiC
化合物半導体
セラミックス		◯
サファイア		◯
水晶				◯
ガラス	◯	◯	◯	◯
石英	◯	◯	◯	◯